- ピックアップ:
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- 高矩形、微小パターンめっき用の硫酸銅めっき添加剤。
微細配線の膜厚低下が少なく、均一電着性に優れる。
- 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
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- ブラインドビアホール、トレンチの埋め込み性に優れた半導体用の硫酸銅めっき添加剤。
特に、低アスペクト比ビアやトレンチに対して、優れたフィリング性を低膜厚で処理可能。
- 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
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- 良好なパターン形状が得られる銅ピラー用の硫酸銅めっき添加剤。
厚付けめっきが可能で、かつ均一電着性に優れる。
- 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
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- TSVのビアフィリングが可能な硫酸銅めっき添加剤。
高アスペクト比のビアフィリングを低膜厚で処理可能。
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- ウエハ