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TORYZA LCN FRV
- 微細配線の膜厚差が少なく、膜厚均一性に優れる。
配線の断面形状の矩形性が良好。
緻密で平滑な光沢外観が得られ、高展延性の皮膜が得られる - 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
- 微細配線の膜厚差が少なく、膜厚均一性に優れる。
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TORYZA LCN SD
- 低アスペクト比ビアやトレンチフィリング用の硫酸銅めっき添加剤。
優れたフィリング性を低膜厚で実現する。 - 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
- 低アスペクト比ビアやトレンチフィリング用の硫酸銅めっき添加剤。
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TORYZA LCN SP
- 良好なパターン形状が得られる銅ピラー用の硫酸銅めっき添加剤。
厚付けめっきが可能で、かつ均一電着性に優れる。 - 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
- 良好なパターン形状が得られる銅ピラー用の硫酸銅めっき添加剤。
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TORYZA LCN SV
- TSVのビアフィリングが可能な硫酸銅めっき添加剤。
高アスペクト比のビアフィリングを低膜厚で処理可能。 - 電気めっき硫酸銅めっき添加剤
- ウエハ
- TSVのビアフィリングが可能な硫酸銅めっき添加剤。